第244章 流片数据出炉，光刻机主体成功（2/2）
或许是看到氛围太过严肃，这个时候一直没发言的余高远，终于舍得主动开口。
「真让人惊心动魄啊，不知道有多久，没经历过这种心情了。」
说这句话时，故作轻松的语气，和脸上堆出的微笑，为大家的情绪增添一些不同的波动。
「大家的压力确实不小。」贺鹏涛点点头附和句。
前脚话音刚落，身旁科学院化学研究所的周启深院士，也接过话茬道：「国家有徐总师这样的天才，我相信逐光极紫外光刻机，肯定能光刻出良好的各层图案。」
他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁，在光酸剂与树脂等分子设计，以及合成与作用机理等研究领域，位于国内领先地位。
对国家化学材料的发展，做出过重要贡献。
此次整合国内资源，成立国家集成电路制造研发创新中心，他所在化学研究所，也被纳入整合范围。
负责国产高端光刻胶的研发工作。
其中值得一提的是，徐铭擅长数学物理甚至信息学科，凭借自身实力和天赋，带领光刻机和晶片设计软体，快速实现技术叠代。
以至于经常能在网上看到，又有新的进展新闻。
这对他们光刻胶项目组团队来讲，无疑有著巨大的压力。
只能依靠自身。
尽最大努力，保证国产高端光刻胶的研发，做到不拖其他项目部门的后腿。
毕竟大家所在工作属于一个整体，任何人掉队都不行。
幸好他们的运气还算不错，在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕，成功合成一种效果更好的光刻胶。
远超过当前国内的光刻胶水平。
而正当他思维快速运转，脑海中一直想著流片结果时，耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。
「我们要看的，不是能不能做出图形，而是现实与预测的偏差，究竟有多少原子。」徐铭看向周启深院士，神情很是认真的接话，他对流片数据的要求，远比现场人要高。
如果说其他人的目标，是晶片制造技术，追赶上阿斯麦设备的产品。
那么他则是要超过。
况且在付出这么多努力和心血后，想达成这一点，也并非是什么不可能做到的事。
余高远对徐铭的了解，无疑要比现场任何人都深。
他在听到这句话，当即应和道：「有你的这句话，我对流片结果可是更加期待了，看来又要给我惊喜。」
众人之间的交流并未持续多久，很快就又被流片过程吸引。
目睹百分之百国产化，正在运行的逐光极紫外光刻机，团队士气越发高昂。
由于整个流片过程，包括光刻和刻蚀，以及沉积等数十道工序，且被严密监控，因此往往要历时数周时间才能结束。
面对这种情况，大家毅然留在微电子装备。
都想第一时间看到流片数据，也好见证国内晶片制造历时上，真正里程碑时刻。
很快来到月底。
高考结束分数陆续出炉，准大学生开始填写志愿，选择自己心仪的高校专业。
如果这时候去参加，各地举行的招生活动，则会发现燕大所在展台位置，基本上一个学生和家长都没有，但偏偏被旁边的箐华等，学校招生老师羡慕的不行。
没办法。
正所谓树的影，人的名。
在徐铭这张金字招牌下，燕大已然成为，全国最顶尖的高校。
彻底把箐华甩在后面。
甚至放眼国际，燕大也的地位排名，也在以肉眼可见的速度，每年持续上涨。
特别是有著疯人院」美称的数院。
有这些因素在，能够上燕大的学生，根本不会纠结犹豫。
自然用不著参加这种活动。
放前几年的时候，徐铭偶尔还会帮忙为学校招生宣传，毕竟在他那一大堆头衔中，最开始的可是燕大数院教授。
不过今年肯定是没有这个时间。
6月27日，周二，微电子装备集团总部。
今天光学测量实验室内，要比以往任何时候都要热闹，尤其人员上更是打破记录。
因为在外面房间内，愣是聚集了大十几个身影。
且有将近一半，都为院士。
目前用于流片的晶圆片已完成制造，被送入了光学测量实验室，进行关键的光学测量和电子显微镜检测，这能够得到详细的流片数据，以及晶片良品率。
众人眼下待在这里，正是想第一时间知道结果。
明明面积不大的房间内，大家几乎紧挨著坐下，却愣是安静的很。
纷纷保持著沉默。
谁都没有率先开口打破僵局。
显然心情都很紧张。
直到房间门外突然响起一阵敲门声，瞬间让众人同时抬起视线望去，心脏仿佛都跳快了不少。
平时一向稳重的院长余高远，更是首先脱口喊话。
「进来。」
穿著实验服的科研人员推门进来，手中拿著份崭新出炉的报告，脚步才刚迈进房间，便迫不及待开口汇报。
「徐总师，各位院士领导。」
「晶圆片的光学测量数据结果出来了————」
「直接讲吧。」徐铭闻言立刻出声，把对方的话给打断。
而这个时候，那位科员人员也没有耽搁，仅短暂顿了一秒，忙详细讲出报告中的数据。
「根据测量结果显示，逐光解析度完全达标，光学成像能力优秀，各层图案对齐良好，另外光刻机的机械精度达到预期。」
当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安，等微电子装备科研人员，听完这番话后，原本悬著的心总算彻底放下，证明逐光国产极紫外光刻机主体研发成功。
标志著国内终于拥有了，百分之百国产化的，高端极紫外光刻机。
不过大家并没有在这个时候鼓掌庆祝，反倒是强压住心中激动，继续听后面的其他流片数据项目结果。
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